Mikrofonas, pagamintas MEMS technologija, pakeičia elektretus

   Mikrofonai iš elektretų yra naudojami jau 30 metų. Juos sudaro nuostovia įtampa maitinamas kondensatorius. Elektretų savybės jautrios temperatūrai, todėl tokiuos mikrofonus sudėtinga įlituoti reikiamame grandyne. Firma Knowles Acoustics sukūrė visiškai naujo tipo mikrofonus. Jie ir labai maži, ir gali atlaikyti aukštas temperatūras, todėl juos surenkant galima naudoti paviršinio montažo technologijas.


MEMS mikrofonas sumontuotas mobiliajame telefone.

   Mikrofono membrana yra daroma iš polikristalinio silicio naudojant tradiciniais silicio procesais paremtą MEMS (mikro-elektro-mechaninės-sistemos) technologija. Pati membrana yra 2,5x2,5 mm dydžio. Kartu su stiprinimo grandynu bei ryšio kondensatoriumi ji telpa 6,15x3,76x1,5 mm dydžio modulyje. Yra netgi mažesnis variantas (4,72x3,76x1,5 mm), kuriame kondensatorius yra integruotas kartu su rezonatoriumi. Pats rezonatorius irgi yra ypatingas: jį sudaro trys dvipusio FR4 laminato sluoksniai. Visą darinį galima sumontuoti nenaudojant švino paviršinio litavimo technologija.


Mokslo įdomybės